SC-2浓度计监测仪 CS-152

SC-2浓度计监测仪 CS-152高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的SC-1溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测清除金属离子时所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保SC-1溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。由于测量周期短，可以精确地跟踪浓度变化，小巧化设易于组装到清洗装置中。

特征

・监测周期大约为3秒，支持300mm工艺的浓度管理。
实现了以大约3秒这样短的测量周期，大幅提高了浓度的实时跟踪性。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。

・通过采取全面的气泡对策，可监测高温样品
在脱泡槽中分离气泡，在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在zui低限度。并且，如果是冷却器一体型产品，则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。

・采用DC24V，实现高安全性
电源采用DC24V低压电，提高了安全性以避免触电事故的发生。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等，采取紧急措施。