SC-1浓度计监测仪 CS-131

SC-1浓度计监测仪 CS-131是半导体制造中清洗工艺的SC-1溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以常时间的监测微粒以及有机物的清除作业中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分浓度。通过使用监测输出的回收控制，可以确保SC-1溶液的浓度在允许范围内，同时，还可以避免不必要的更换药液工作。并且，冷却器一体型也进入了产品阵容内，可适用较大范围的样品温度。

特征

监测周期大约为2秒，支持300mm工艺的浓度管理
实现了以大约2秒为监测周期(※)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。(※不包含药液的置换时间、冷却时间)

小巧化设计有利于节省清洗装置的空间
由于底面面积只有原来的2/3(※)左右，这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
(※和本公司产品CS-220系列进行比较)

通过减少清洗工艺中的批次不良，提高产量
通过浓度计的信号输出，进行SC-1溶液的补给控制，从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而推进产量的全面提高。

全自动监测与简易控制
用户只需引入SC-1溶液即可。监测是全自动方式，因此开始监测后不需要进行任何控制。另外，由于参照光谱测量时使用的是空气，所以不需要用水。