光纤式药液浓度计 CS-100F1

HORIBA药液浓度计光纤式药液浓度计 CS-100F1系列是针对在半导体制造中的清洗及蚀刻工艺中所使用的各种药液进行高精度浓度监测的设备。
 光纤式药液浓度计 CS-100F1通过利用光纤传播光信号，把样品单元直接组装到清洗装置配管上，实现实时在线测量。 同时，1台单一的浓度计zui多可以测量4种药液或量程，在单槽/单晶圆清洗系统中进行单线监测成为了可能。此外，测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。

●利用1台浓度计zui大可以监测4种(药液或量程)的多样监测。

●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。

●监测周期大约3秒，300mm工艺的浓度管理。

●通过*分离电气部分和测量部分以提高稳定性。

●轻便小巧的设计有利于节省清洗装置的空间。

●通过减少清洗工艺中的批次不良以提高产量。

光纤式药液浓度计 CS-100F1主要特点：

●利用1台浓度计zui大可以监测4种(药液或量程)的多样监测。
1台浓度计中zui多可存储4种校正系数(药液或量程)，可监测单槽或单晶圆等批次清洗方式的清洗装置1种以上药液(或者不同的药液配比)浓度。

●实时浓度监测。测量单元型产品适用于更高精度需求应用的浓度反馈控制。 通过使用可直接组装在清洗装置主配管中的在线检测单元，实现了实时的浓度监测。为了强调稳定性，也可使用检测单元装置型的浓度计，以进行反馈控制。可以保持在药液浓度值的允许范围内，同时也可以避免不必要的药液更换工作。