SPM监测仪 CS-150

SPM监测仪 CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。

特征

以大约3秒的检测周期支持300mm工艺的浓度管理。实现了约3秒这样短的检测周期。大幅提高了浓度的实时跟踪性。支持多径方式和单径方式清洗装置详细的浓度管理。

・小巧设计有利于清洗装置节省空间
底面面积只有原先的2/3(*)左右，这样的小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
*与本公司产品CS-340比较

・通过减少清洗工艺中的批次不良，提高了原材料利用率
通过使用监测输出，进行SPM溶液的补给控制，从而实现高重现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而有利于提高原材料利用率。

・通过全自动检测，实现了简易管理
用户只需要引入SPM溶液即可。由于检测是全自动方式，所以开始检测后不需要进行任何控制。并且，参照光谱检测由于使用空气，所以不需要利用水。

・通过采取*的气泡对策，可以进行连续检测
由于内置有脱泡功能，在快到检测池时分离气泡，从而可以在液体流动的状态下连续检测。