BHF浓度计监测仪 CS-137

BHF浓度计监测仪 CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制，可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内，同时，还可以避免不必要的药液更换工作。

特征

• 监测周期大约为3秒，支持300mm工艺的浓度管理。

实现了以大约3秒这样短的测量周期，大幅提高了浓度的实时跟踪性。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。

• 小巧设计有利于清洗装置节省空间

底面面积只有原先的2/3(*)左右，这样的小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
*与本公司产品CS-327比较

• 通过减少清洗工艺中的批次不良，提高产量

通过浓度计的信号输出，进行BHF溶液的补给控制，从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而推进产量的全面提高。

• 全自动监测与简易控制

用户只需引入BHF溶液即可。监测是全自动方式，因此开始监测后不需要进行任何控制。另外由于参照光谱测量时使用的是空气，也可以测量水的浓度，从而可以跟踪水因溶液蒸发和附着到晶圆而应起的浓度变化。这样有利于二氧化硅的调整控制。