六轴并联定位台 光学表面分析仪

六轴并联定位台 光学表面分析仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-10-03 09:31:37
563
属性:
产地:国产;加工定制:是;适用行业:其他;
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上海纳动纳米位移技术有限公司

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产品简介

六轴并联定位台是利用电磁驱动技术以满足一类纳米级超精密运动与定位载物台的产品的定制需求。市场与技术应用领域聚焦于纳米至百纳米级精度尺度的定位与运动实现,如晶元检测、无掩模光刻、激光加工、激光刻蚀等。

详细介绍

  

    六轴并联定位台是利用电磁驱动技术以满足一类纳米级超精密运动与定位载物台的产品的定制需求。市场与技术应用领域聚焦于纳米至百纳米级精度尺度的定位与运动实现,如晶元检测、无掩模光刻、激光加工、激光刻蚀等。

六轴并联定位台特点:

六自由度高精度并联运动 
无轴间运动串扰和误差累计 
低运动惯量,高结构刚度 
可自由设定旋转中心 
特殊设计可承受1000公斤以上负载

 

其它特性 
工作温度(℃)+5~+40
材料铝,铟钢,陶瓷,不锈钢
运动台面(mm)Φ70
中孔(mm)Φ32
中间位置高度(mm)68
质量(kg)505
线长(m)1.2
可选项用户可以定制平台面;更大行程;真空兼容;无磁应用;尺寸可扩展
控制器 
控制类型CAPELLA
接口Ethernet,USB,串口(RS-232)
输出功率110-240 VAC/ 50-60Hz

技术参数:
 

线性行程 (X, Y, Z)±27.5 mm, ±25 mm, ±14mm
角度行程 (Θx, Θy, Θz)±11.5°, ±10.5°, ±19°
zui小增量运动 (X, Y, Z)0.1 µm, 0.1 µm, 0.05 µm
zui小增量运动 (Θx, Θy, Θz)0.00005° (0.8 µrad), 0.00005°, 0.0001°
重复性 (X, Y, Z)0.2 µm, 0.2 µm, 0.1 µm
重复性 (θx, θy, θz)0.0001°, 0.0001°, 0.0002°
zui大速度 (X, Y, Z)12 mm/s, 10 mm/s, 5 mm/s
zui大速度 (Θx, Θy, Θz)8 °/s, 8 °/s, 16°/s
负载6 kg

上海纳动纳米位移技术有限公司(简称“纳动纳米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河泾新兴技术开发区,是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*,专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发,并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案,满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。

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