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六轴并联定位台是利用电磁驱动技术以满足一类纳米级超精密运动与定位载物台的产品的定制需求。市场与技术应用领域聚焦于纳米至百纳米级精度尺度的定位与运动实现，如晶元检测、无掩模光刻、激光加工、激光刻蚀等。
六轴并联定位台特点：
六自由度高精度并联运动
无轴间运动串扰和误差累计
低运动惯量，高结构刚度
可自由设定旋转中心
特殊设计可承受1000公斤以上负载
| 其它特性 | |
| 工作温度(℃) | +5~+40 |
| 材料 | 铝，铟钢，陶瓷，不锈钢 |
| 运动台面(mm) | Φ70 |
| 中孔(mm) | Φ32 |
| 中间位置高度(mm) | 68 |
| 质量(kg) | 505 |
| 线长(m) | 1.2 |
| 可选项 | 用户可以定制平台面;更大行程；真空兼容；无磁应用；尺寸可扩展 |
| 控制器 | |
| 控制类型 | CAPELLA |
| 接口 | Ethernet，USB，串口（RS-232） |
| 输出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz |
技术参数：
| 线性行程 (X, Y, Z) | ±27.5 mm, ±25 mm, ±14mm |
| 角度行程 (Θx, Θy, Θz) | ±11.5°, ±10.5°, ±19° |
| zui小增量运动 (X, Y, Z) | 0.1 µm, 0.1 µm, 0.05 µm |
| zui小增量运动 (Θx, Θy, Θz) | 0.00005° (0.8 µrad), 0.00005°, 0.0001° |
| 重复性 (X, Y, Z) | 0.2 µm, 0.2 µm, 0.1 µm |
| 重复性 (θx, θy, θz) | 0.0001°, 0.0001°, 0.0002° |
| zui大速度 (X, Y, Z) | 12 mm/s, 10 mm/s, 5 mm/s |
| zui大速度 (Θx, Θy, Θz) | 8 °/s, 8 °/s, 16°/s |
| 负载 | 6 kg |
上海纳动纳米位移技术有限公司（简称“纳动纳米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河泾新兴技术开发区，是一家专业集精密机械、精密驱动、精密传感、精密控制、精密测量、精密光学等各领域的技术于一体的*，专注于超精密纳米级定位及运动控制技术与产品的开发，并致力于创新开发压电微米定位、压电纳米定位、压电定位控制及测量等设备提供系统的技术解决方案，满足于国内外市场对超精密纳米级定位及运动控制技术需求的专业研发制造商。
上海纳动纳米位移技术有限贵公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、纳米级精密定位台/扫描台、压电纳米定位平移台/升降台/偏摆台/旋转台、纳米级光束偏转镜、纳米级显微扫描平台、纳米级物镜聚焦/扫描器、纳米级红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高精度位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高精度微位移测量系统等系列产品。
