高精度二维中空式压电扫描台厂家供应-电子/半导体检测仪器

XY轴 PK2L70-080U高精度二维中空式压电扫描台厂家供应-电子/半导体检测仪器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2017-12-01 13:15:38
374
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上海纳动纳米位移技术有限公司

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产品简介

高精度二维中空式压电扫描台厂家供应二维XY轴压电扫描台,zui大行程可达210μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率,毫秒级的响应时间,非常适合于显微及扫描中的样品定位。

详细介绍

产品型号

PK2L135-005U

PK2L135-005U-S

公差

运动自由度

X、Y

X、Y

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围(@0~+120V)

μm/轴

μm/轴

±20%

行程范围(@-20~+150V)

μm/轴

μm/轴

±20%

分辨率

0.2 nm

0.5 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.1% F.S.

typ.

承载能力

30 N

30 N

Max.

刚度

0.5 N/μm

0.5 N/μm

±20%

谐振频率

0g

(X)330 Hz、(Y)330 Hz

(X)330 Hz、(Y)330 Hz

±20%

静电容量

0.6 μF/轴

0.6 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

外形尺寸(LxH)

138×138×17 mm

138×138×17 mm

-

重量

500 g

500 g

±5%

本体材质2

铝(B)

铝(B)

-

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