高精度二维中空式压电扫描台厂家供应-电子/半导体检测仪器

XY轴 PK2L70-080U高精度二维中空式压电扫描台厂家供应-电子/半导体检测仪器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2017-12-01 13:15:38
375
属性：
产地:国产；加工定制:是；
>
产品属性
产地
国产
加工定制
是
关闭
上海纳动纳米位移技术有限公司

上海纳动纳米位移技术有限公司

免费会员
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

高精度二维中空式压电扫描台厂家供应二维XY轴压电扫描台，zui大行程可达210μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，非常适合于显微及扫描中的样品定位。

详细介绍

产品型号

PK2L135-005U

PK2L135-005U-S

公差

运动自由度

X、Y

X、Y

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围（@0~+120V）

5 μm/轴

5 μm/轴

±20%

行程范围（@-20~+150V）

8 μm/轴

8 μm/轴

±20%

分辨率

0.2 nm

0.5 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.1% F.S.

typ.

承载能力

30 N

30 N

Max.

刚度

0.5 N/μm

0.5 N/μm

±20%

谐振频率

0g

（X）330 Hz、（Y）330 Hz

（X）330 Hz、（Y）330 Hz

±20%

静电容量

0.6 μF/轴

0.6 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围（*）1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

外形尺寸(LxH)

138×138×17 mm

138×138×17 mm

-

重量

500 g

500 g

±5%

本体材质2

铝（B）

铝（B）

-
上一篇：WD4000系列晶圆几何量测系统：全面支持半导体制造工艺量测，保障晶圆质量 下一篇：SMU源表搭建MOS电容CV特性测试实验平台
热线电话 在线询价
提示

仪表网采购电话