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高精度压电显微镜扫描台是移动台面有透空通孔的直线压电平台,可将负载以亚纳米级精度移动。压电扫描台具有高可靠性、高分辨率,且具有非常优秀的运动线性度和平面度,及更高的机械强度。经常在显微步进中使用。它的快速步进与稳定的运动改善了光学系统中的分辨率。这包括相机成像过程技术和图像识别,例如生物识别技术。而且,它具有一个*的特点,在中心处有一个大的中孔。这可在光学路径中创造更好光学路径条件。
高精度压电显微镜扫描台供应商特点
•Z轴运动 •开环/闭环可选 •zui大行程110μm •中孔尺寸45mm×45mm
高精度压电显微镜扫描台供应商应用
•纳米定位 •生物科技 •纳米操作 •AFM •纳米压印 •纳米光刻 •显微成像 •共焦显微
技术参数:
产品型号 | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
运动自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
传感器类型 | - | Strain Gage | - | |
标称行程范围(@0~+120V) | 80 μm/轴 | 80 μm/轴 | ±20% | |
行程范围(@-20~+150V) | 100 μm/轴 | 100 μm/轴 | ±20% | |
分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
线性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
承载能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
刚度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
谐振频率 | 0g | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | ±20% |
静电容量 | 1.6 μF/轴 | 1.6 μF/轴 | ±20% | |
工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驱动电压范围(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
本体材质2 | 铝(B)、钢 | 铝(B)、钢 | - |