精密压电扫描台-电子/半导体检测仪器

XY轴 PK2L70-080U精密压电扫描台-电子/半导体检测仪器

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2018-06-28 08:51:36
337
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产地:国产;加工定制:是;
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上海纳动纳米位移技术有限公司

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产品简介

精密压电扫描台采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级压电显微扫描台,压电扫描台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,压电扫描台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。

详细介绍

   精密压电扫描台采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级压电显微扫描台,压电扫描台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,压电扫描台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。

精密压电扫描台产品应用:

原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接  纳米光刻

特点:
◆ 超薄的外形尺寸,超大的中空尺寸;
◆ 超大的行程;
◆ 采用无摩擦、无回差的柔性铰链导向系统,具有超高的导向精度;
◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。

技术参数:

产品型号

PK2L135-005U

PK2L135-005U-S

公差

运动自由度

X、Y

X、Y

-

传感器类型

-

Strain Gage

-

标称行程范围(@0~+120V)

5 μm/轴

5 μm/轴

±20%

行程范围(@-20~+150V)

8 μm/轴

8 μm/轴

±20%

分辨率

0.2 nm

0.5 nm

typ.

重复定位精度

-

0.05% F.S.

typ.

线性度

-

0.1% F.S.

typ.

承载能力

30 N

30 N

Max.

刚度

0.5 N/μm

0.5 N/μm

±20%

谐振频率

0g

(X)330 Hz、(Y)330 Hz

(X)330 Hz、(Y)330 Hz

±20%

静电容量

0.6 μF/轴

0.6 μF/轴

±20%

工作温度范围

-10~+70 ℃

-10~+70 ℃

-

驱动电压范围(*)1

0~+120 V

0~+120 V

typ.

线缆长度

1.5 m/轴

1.5 m/轴

±10mm

外形尺寸(LxH)

138×138×17 mm

138×138×17 mm

-

重量

500 g

500 g

±5%

本体材质2

铝(B)

铝(B)

-

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