精密压电扫描台采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级压电显微扫描台，压电扫描台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，压电扫描台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。
精密压电扫描台产品应用：
原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接 纳米光刻
特点：
◆ 超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；
◆ 超大的行程；
◆ 采用无摩擦、无回差的柔性铰链导向系统，具有超高的导向精度；
◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。
技术参数：
| 产品型号 | PK2L135-005U | PK2L135-005U-S | 公差 | | 运动自由度 | X、Y | X、Y | - | | 传感器类型 | - | Strain Gage | - | | 标称行程范围（@0~+120V） | 5 μm/轴 | 5 μm/轴 | ±20% | | 行程范围（@-20~+150V） | 8 μm/轴 | 8 μm/轴 | ±20% | | 分辨率 | 0.2 nm | 0.5 nm | typ. | | 重复定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | | 线性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | | 承载能力 | 30 N | 30 N | Max. | | 刚度 | 0.5 N/μm | 0.5 N/μm | ±20% | | 谐振频率 | 0g | （X）330 Hz、（Y）330 Hz | （X）330 Hz、（Y）330 Hz | ±20% | | 静电容量 | 0.6 μF/轴 | 0.6 μF/轴 | ±20% | | 工作温度范围 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | | 驱动电压范围（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | | 线缆长度 | 1.5 m/轴 | 1.5 m/轴 | ±10mm | | 外形尺寸(LxH) | 138×138×17 mm | 138×138×17 mm | - | | 重量 | 500 g | 500 g | ±5% | | 本体材质2 | 铝（B） | 铝（B） | - | |
