108C自动镀碳仪-广州竞赢化工科技有限公司手机版

详细介绍

品牌：英国Cressington

108C Auto是用于扫描电镜能谱分析的的镀碳仪之一。

主要特性

l 的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。

l 108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。

l 使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

l 可选择手动或自动方式操作。

l 自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压。

l 可配备MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件）。分辨率优于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范围内，重现性可优于5％。

技术参数
样品室大小	直径120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75")
蒸发源	Bradley型 (6.15mm rods, [1/4"]) 高强度不锈钢结构
蒸发控制	基于微处理器的反馈回路控制，能够进行远程电流/电压感应，基于真空水平变量的安全互锁功能，电流180A，提供过流保护
样品台	可装置12个样品座，高度在30mm范围内可调
模拟计量	真空: atmos - 0.001mb; 电流: 0-200A
厚度监控	MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)
控制方法	自动蒸发控制，使用程序设定的电压和时间以脉冲或连续方式进行手动控制数字定时器（0－30s）数字电压设置（0.1 to 6.0V）

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