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反应舱 | 材料:铝 有效尺寸:600 x 600 x 600mm 容积:216升 舱门:装有可视窗口 托盘:5个 尺寸:562 x 660 x 40mm |
真空度测量 | 皮拉尼真空计 |
真空泵 | 旋片式真空泵;60m3/h;含真空泵油 |
频射发生器 | 0~1000W可调,100KHz发生器 |
控制系统 | PLC可实现下列功能: l 自动控制反应过程; l 根据处理材料设定不同的处理工艺参数; l 测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标; l 监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内; l 设定操作、维护密码。 |
电源 | 380V AC, 三相,50HZ, 40A |
反应气体 | 一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC) |
气体输入 | 直径1/4英寸(6.35mm) 管道;输入压力:1Bar |
尾气排放 | 直径28mm输出端口 |
安全性能 | 急停开关;真空泵保护锁;高温保护锁;CE安全认证。 |
可选件: