基本功能

1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数

2，实现薄膜均匀性检测

3，实现反射、投射以及颜色测量

产品特点

l  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库；

l  简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数；

l  快捷、准确、稳定的参数测试；

l  支持多功能配件集成以及定制；

l  支持不同水平的用户控制模式；

l  支持多功能模拟计算等等。

系统配置

l  型号：SR500R

l  探测器： 2048像素的CCD线阵列

l  光源：高稳定性、长寿命的卤素灯

l  光传送方式：光纤

l  台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量，200mmx200mm的大小

l  软件： TFProbe 2.2版本的软件

l  通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

l  测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率

l  电脑硬件要求：P3以上、zui低50 MB的空间

l  电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A

l  保修：一年的整机及零备件保修

规格

l  波长范围：250nm到1700 nm

l  光斑尺寸：500μm至5mm

l  样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm

l  基板尺寸：zui多可至50毫米厚

l  测量厚度范围*：2nm?150μm

l  测量时间：zui快2毫秒

l  精确度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

l  重复性误差*：小于1 ?

可选配件项

l  用于传递和吸收测量的传动夹具（SR500RT) ??

l  zui低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP500)

l  在多个位置下，多个通道用于同时测量 (SR500xX)

l  在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM500-200/300）

应用领域

主要应用于透光薄膜分析类领域：

l  玻璃镀膜领域（LowE、太阳能…）

l  半导体制造（PR，Oxide, Nitride…)

l  液晶显示（ITO，PR，Cell gap...）

l  医学，生物薄膜及材料领域等

l  油墨，矿物学，颜料，调色剂等

l  医药，中间设备

l  光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半导体化合物

l  在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

l  非晶体，纳米材料和结晶硅