反应舱

材料：铝

有效尺寸：400 x 400 x 400mm

容积：64升

舱门：装有可视窗口

托盘：4个    尺寸：305 x 360 x 40mm

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

旋片式真空泵；30m³ /h；含真空泵油

频射发生器

0~600W可调，100KHz发生器

控制系统

PLC可实现下列功能：

l  自动控制反应过程；

l  根据处理材料设定不同的处理工艺参数；

l  测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；

l  监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；

l  设定操作进入密码。

电源

380V AC, 三相，50Hz, 40A

反应气体

一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）

气体输入

直径1/4英寸（6.45mm） 管道；输入压力：1Bar

尾气排放

直径28mm 输出端口

安全性能

急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。