反应舱

材料：铝

有效尺寸：直径230mm x 深度250mm

容积：10.4升

舱门：装有可视窗口

托盘：订制

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

二级旋片式真空泵，3m³/h

频射发生器

0~600W可调，2.45GHz发生器

控制系统

PLC可实现下列功能：

l  自动控制反应过程；

l  根据处理材料设定不同的处理工艺参数；

l  测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；

l  监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；

l  设定操作、维护密码。

电源

220V AC, 50Hz, 16A

反应气体

一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）

气体输入

直径1/4英寸（6.35mm） 管道；输入压力：1Bar

安全性能

急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。