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简单介绍：
小型3靶等离子溅射镀膜仪是一款紧凑型三旋转靶等离子溅射镀膜机，带有触摸屏数字控制器和能够加热至500℃的基板加热器。可以将1-3种金属材料涂覆到直径为50mm的样品上。 有三个溅射靶：金、银、铜包括在内可立即使用。
详情介绍：
小型3靶等离子溅射镀膜仪产品性能：
可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。本机采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
技术规格：
输入功率 | • 单相220 VAC，50 / 60Hz • 700 W（包括真空泵） • 对于使用110 VAC，我们将为您提供变压器。 |
输出功率 | 1600 VDC,40 mA max |
真空室 | • 真空室: 150 mm ID×165mm OD×150 mm H,由高纯度石英制成 • 密封法兰由不锈钢制成，带有扁平O形圈 |
带加热器的样品台 | • 样品台尺寸:直径50 mm. • 溅射距离范围: 25–40 mm可调 • 具有三个溅射位置的可旋转平台（由触摸屏控制） • 内置基板加热器，zui高加热温度为500℃ • 触摸屏集成了精度为+/- 1℃的PID温度控制器 |
控制面板 | • 6”彩色触摸屏，PLC集成，操作简便 • 真空计、溅射电流计和基板温度控制集成在触摸屏面板上 • 前面板上的调节旋钮用于进气和溅射电流控制 • 可通过触摸屏访问溅射位置，溅射计时器和过程记录 |
