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简单介绍：
800℃近距离蒸发镀膜炉是一款*的快速热处理炉，配有11"内径的石英室和5"×5"旋转样品架。它设计用于CSS（近距离升华）薄膜涂层，可达5"圆形或方形晶圆样品，工作温度可达800℃。800℃近距离蒸发镀膜炉炉体由两组卤素加热器（顶部和底部）分别加热，zui高温度为10℃顶部样品架可旋转，实现高均匀性涂层，是研究CdTe，硫化物和钙钛矿太阳能电池等新一代太阳能电池薄膜的理想工具。
详情介绍：
产品特点：
1、两个温度控制器进行独立控温，双通道气体流量计集成到移动铝合金框架中。
2、腔室由高纯度熔融石英管制成，其尺寸为11”OD / 10.8”ID×9”H。
3、真空法兰由316不锈钢制成，并由电动机提升。
4、两个5”×5”红外加热板，间距可调。
5、两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制
6、顶部载样台可旋转，转速可调：1-7rpm
技术规格：
工作电压 | 208-240VAC,单相, 50A空气断路器 |
真空法兰 | • 带有一个KFD-25真空端口和一个气体出口（需要1/4”管道）的顶部法兰可以手动上下滑动，以便轻松地装载和卸载基材和蒸发的材料。 • 底部法兰有一个KFD-25真空口，带一个进气口（需要1/4”管）和针阀。 • 法兰采用双硅胶O型圈密封，可达到zui大。采用机械泵真空压力为10E-2Torr，采用分子泵10E-5Torr（不含真空泵，请另外订购）。 • 一个数字真空计安装在顶部法兰上。 • 精密防腐数字真空计是标准包装 |
加热器和样品架 | • 两个独立控制的加热器，手动可调间隙为2-30 mm。 • 20个卤素灯用作加热元件，用于快速热处理。 • 加热器由不锈钢制成，带有水冷夹套，以减少热辐射，并能够快速冷却。 • 5”直径圆形晶圆支架内置于顶部加热器中，用于固定基板。 • 包括一组高导热AlN板（5”直径×0.5mm厚）（放置在基板背面以使其均匀加热）。 • 包含58L / min循环水冷却器用于节约水源。 • 顶部样品架可在0 - 7 RPM的可调速度下旋转。 |
