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Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 电子束刻蚀系统
¥13Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 电子束刻蚀系统
¥13Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 电子束刻蚀系统
¥13Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 电子束刻蚀系统
¥13零件检漏系统-检漏仪 Hakuto-Dan-100
¥11ATC 空气检漏仪 ME3
¥13ATC 空气检漏仪 ME2
¥12ATC 空气检漏仪 IPE2、IPE2-HP
¥10ATC 紧凑型空气检漏仪 E-PDQ (EQ)
¥11ATC 高灵敏度型微流量空气检漏仪 VE2
¥12ATC 压差型微流量空气检漏仪 E2
¥11Gel-Pak 真空释放(VR)托盘-芯片
¥10Pfeiffer 普发涡轮分子泵 Hipace 1000-2000 l/s
德国普发 Pfeiffer 分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点:
1. 四种抽速,抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求,耐粉尘
4. 高气流量,即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元,可直接连接一般电源
6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准介面介面:RS-485 以及远端控制;Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准,适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域:
1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及*镀膜
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品规格:
伯东公司作为优秀的德国PFEIFFER真空设备中国供应商。深圳,上海设有德国PFEIFFER同步的服务中心,提供完善的售前,售后服务。
伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空系统以及美国 Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.Gamma离子泵等。
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