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Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 电子束刻蚀系统
¥13Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C 电子束刻蚀系统
¥13Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 电子束刻蚀系统
¥13Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 电子束刻蚀系统
¥13Gel-Pak 真空释放(VR)托盘-芯片
¥10Gel-Box® 芯片包装盒 AD 系列
¥10Gel-Tray® 凝胶托盘 BD 系列-芯片
¥10Gel-Slide™ 凝胶玻片 CD 系列-芯片
¥10Vertec™ 芯片包装盒 AV 系列
¥10Sigma 高低温试验箱
¥12inTEST DCP-102 接触式温度冲击测试机-高低温试验箱
¥12ECO-710-M 高低温测试机-高低温试验箱
¥12ATC 空气检漏仪 ME3 泄漏率/灵敏度: 7 · 10-7 sccs (≈ 1 · 10-7 mbar l/s / 0.2 μm 缺陷尺寸).
专为高速生产线而设计, 能够检测出微小缺陷尺寸的一小部分, 或用于具有多站、高达 120 ppm 的高速生产.
ATC 空气检漏仪 ME3 特别用于 CCIT(容器密封完整性测试)的高要求药品生产环境.
ATC 空气检漏仪 ME3 产品特点:
1. Micro-Flow 传感器——IGLS(智能气体泄漏传感器)或 IMFS(智能分子流量传感器)
2. 自动真空测试回路,*设计用于超紧密泄漏测试
3. 速排空回路,适用于要求短测试时间的在线过程测试
4. 设计成旋转或线性连续操作系统的一部分
5. 用于高速生产线的多种仪器
6. 大泄漏和良好的泄漏测试
7. 显示实时压力、流量测试消息
8. 单独的控制器盒可以支持多达 5 台仪器
9. 从站到远程 PLC/PC
10. 以太网接口可简化集成
11. 用于洁净室的不锈钢外壳
ATC 空气检漏仪 ME3 产品技术参数:
型号 | ME2 | |
版本 | 浅真空 | 高真空传感器 |
适用的 Micro-Flow(微流量)传感器 | IL2-M,从 2 psia (≈ 138 mbar) 到气压(滑动和粘滞流态)进行校准 | IMFS 从 0.01 至 0.2 psia(≈1 至 14 mbar 压力)校准(分子和过渡流态) |
泄漏率/灵敏度 | 在 2 psia(≈ 138 mbar 压力)下为 1 · 10-4 sccs (≈ 1 · 10-4 mbar l/s | 在 0.02 psia(≈ 1 mbar 压力)下为 7 · 10-7 sccs (≈ 1 · 10-7 mbar l/s / 0.2 μm 缺陷尺寸) |
压力范围 | 真空——0.01 psia(1 mbar 压力)到大气压力 | |
尺寸 | 6 3/4” W x 11 1/8” H x 22 1/4” D / 172 x 283 x 565 mm(不包括连接器和配件) | |
通气气体 | 干燥、清洁的空气、氮气、水蒸气(可检测更多气体) | |
气动连接 – 空气供给 | 1/4 英寸 Swagelok® | |
气动连接 – 真空 | 3/8 英寸到 1 英寸 NW(取决于应用) | |
数字输入 | 5 V DC,用于启动、停止、类型、压力开关、验证的光隔离 | |
数字输出 | 30 V DC-20 mA,用于通过、失败、夹紧、测试类型、排气和定制的光电隔离 | |
模拟输出 | 单通道,0-5 V DC 压力控制 | |
电源 | 115 V AC / 60 Hz,220 V AC / 50 Hz(可选) | |
接口 | RJ-45 以太网或 RS-232 串行接口 |