Pfeiffer 分子泵在LOW-E（低辐射玻璃）生产线中的应用

LOW-E全名Low emissivity，是低辐射镀膜玻璃。相对热反射玻璃而言是一种新型节能玻璃。目前上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术（离线法）生产Low-E玻璃。伯东公司销售的德国普发 Pfeiffer 分子泵成功应用于此。

原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕数量级的真空环境中，通入适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2），并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并在与阴极垂直的水准方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源，在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体。其中，电子在电场和磁场的共同作用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子；正离子在电场的作用下，达到一定的能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀*的膜层，阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜，必须使用多个阴极，每一个阴极均是在玻璃表面来回移动，形成一定的膜厚。

德国普发 PFEIFFER 凭藉其120多年的真空制造经验和范围内的售后服务和技术支援赢得LOW-E市场客户的青睐，德国冯.阿登纳（VON ARDENNE）是zui典型的客户。PFEIFFER 分子泵的LOW-E生产线使用在信义玻璃，南玻等中国玻璃制造*。

Pfeiffer 分子泵优点：

Ø  多抽速供客户选择，抽速为1,000至2,000L/S

Ø  对于H2,He和Ar,CF4有高的抽速

Ø  安装位置从0到90度，90到180度

Ø  高的气体流通量，即使是Ar,CF4

Ø  集成的TC 1200驱动单元可直接连接电源

Ø  抗腐蚀能力供选择

Ø  丰富的介面介面：RS-485以及远端控制；profibus或者Devicenet可供选择

Ø  拥有IP 54和Semi S2 等级

Ø  稳定安全的转子轴承系统

Ø  符合UL,CSA以及TUV认证

Ø  简单的安装

伯东公司作为优秀的德国PFEIFFER真空设备中国供应商。深圳，上海设有德国PFEIFFER同步的服务中心，提供完善的售前，售后服务。

伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量（真空计, 真空规管）; 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及美国 Brooks CTI Cryo pump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.Gamma离子泵等。

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