KRI 考夫曼离子源 KDC 100 等离子清洗器-上海伯东企业有限公司手机版

产品简介

上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅极离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.
离子束流: >400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.
采用双阴极灯丝和自对准栅极.加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

详细介绍

上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100, 属于中型规格栅极离子源. 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

离子束流: >400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.

采用双阴极灯丝和自对准栅极.加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数：

离子源型号	离子源 KDC 100
Discharge	DC 热离子
离子束流	>400 mA
离子动能	100-1200 V
栅极直径	12 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-20 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr
长度	23.5 cm
直径	19.4 cm
中和器	灯丝

* 可选: 可调角度的支架

伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域：

1.溅镀和蒸发镀膜 PC

2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

3.表面改性, 激活 SM

4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

5.离子蚀刻 IBE