美国 KRI 射频离子源 RFICP 140 等离子清洗器-上海伯东企业有限公司手机版

产品简介

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 离子束可聚焦, 平行, 散射.
离子束流: >600 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求.

详细介绍

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅极离子源, 离子束可聚焦, 平行, 散射.

离子束流: >600 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.

采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求.

离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀工艺.

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:

型号	RFICP 140
Discharge	RFICP 射频
离子束流	>600 mA
离子动能	100-1200 V
栅极直径	14 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	5-30 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr
长度	24.6 cm
直径	24.6 cm
中和器	LFN 2000

伯东KRI 考夫曼离子源 RFICP 140 应用领域：

1.预清洗

2.表面改性

3.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,

4.溅镀和蒸发镀膜 PC

5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6.离子蚀刻 IBE