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真空溅射的应用范围

时间:2013-08-21      阅读:1834

工业部门
应用实例
备注
电子工业
半导体材料、电介质材料、导电材料、超导材料、太阳能电池、集成线路及电路元件等
低基片温度
机械工业
耐蚀、耐热、耐摩擦性能保护性材料等
厚膜
光学工业
反射膜、选择性透光膜、光集积回路、反射镜保护膜
低基片温度
装饰
塑料涂层、陶瓷涂层、彩虹包装等
厚膜
航天及交通
导电玻璃
挡风玻璃
电子工业:半导体材料、电介质材料、导电材料、超导材料、太阳能电池、集成线路及电路元件等。低基片温度
机械工业:耐蚀、耐热、耐摩擦性能保护性材料等。厚膜
光学工业:反射膜、选择性透光膜、光集积回路、反射镜保护膜。低基片温度
装饰:塑料涂层、陶瓷涂层、彩虹包装等。厚膜
航天及交通:导电玻璃。挡风玻璃
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