真空规管使用知识小结
时间:2024-01-11 阅读:3224
真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。
真空规管一般是装在真空镀膜室的位置,是指电离规管,玻璃管端部用老虎钳夹破一点,插进真空室密封好,必须大气状态完成。(还有电阻规它是测粗真空的,这种没有规管,就一个传感器)用来监测真空度的,,电离规开启一般是有要求的,当压强到3PA以下才开真空,可设置压强参数,到了会自动开,过早开会氧化电离规,导致烧坏
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真空规管特点:电缆连接、真空规校准都可在现场方便完成,因此在很大程度减小了对外围空间的要求。测量规管可以经受150℃烘烤。设置点可调,可用于简单的过程控制和联锁装置。可远程校准。线性输出量:0~10V,便于集成到真空控制系统。NW16和NW25法兰,便于连接到真空系统,可根据客户要求定做成其它型号法兰。LED显示,显示正常和故障信息。
电离真空规管具有:完整的8位十进制测量能力,可到5 x 10-10 Torr (6.6 x 10-10 mbar)。两种类型,每种都有三个真空耦合变量:‘D’型有一个9脚‘D’接口和标准界面;‘S’型功能增强,*与BOC Edwards控制器兼容。带电离子过程污染减少30倍,被喻为*。灯丝自动保护,防止大气压时自动打开、高压下运行与除气。