YRV -6/10双级旋片式真空泵
YRV‑6/10 是宇博(YOIVAC)的双级旋片式真空泵,代表同系列两种抽速规格:6 m³/h 与 10 m³/h(50Hz)。YRI-8/16直流双级旋片式真空泵
宇博 YRI-8/16 是专为移动 / 车载 / 无市电场景设计的直流供电双级旋片式真空泵,主打便携、低噪、高真空,适配 DC 12V/24V/48V 等车载与电池供电系统 参考价面议YRV-16/30双级旋片式真空泵
双级旋片泵是油封式机械泵,分高真空级(第二级)和低真空级(第一级)串联工作;气体先经低真空级预压缩,再进入高真空级深度压缩后排至大气,相比单级泵能获得更低的极限真空度;内置气镇阀可抽除少量可凝性蒸汽(如水汽),防返油结构避免停机时泵油倒灌进真空系统。 参考价面议335025+400976Massvac 过滤器
Massvac 335025 + 400976 真空泵系统将 Demaco Vacuum 的 335025 型 4 英寸正阱前级过滤器与兼容的滤芯(如 400976)以及 Massvac 品牌的真空泵相结合。 参考价面议T 系列 MFC质量流量控制器MFC
质量流量控制器MFC T 系列 MFC采用热式传感器 + 低热电磁阀 + 压力传感技术P 系列 MFC PG90质量流量控制器
P 系列 MFC质量流量控制器MFC 既可应用于半导体前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等设备中, 也在光伏能源、真空镀膜等领域有可观的市场。Showerhead金属零部件
半导体 Showerhead,中文名称为喷淋头、气体分配盘或匀气盘,是半导体制造设备中的核心部件,在半导体生产过程中起着关键作用12。可应用于半导体前制程设备如 ETCH、CVD 等设备中。可提供更高的工艺一致性、稳定性、可重复性。 参考价面议V 系列 MFC质量流量控制器
质量流量控制器 V 系列 MFC 是用于精确控制气体质量流量的设备,MFC 既可应用于半导体前段制程,如 ETCH、PVD、ALD、MOCVD、IMP 等设备中, 也在光伏能源、真空镀膜等领域有可观的市场。Trigon™ BCG552ATM 至超高真空 TripleGauge®
TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中集成了 3 个真空传感元件。这款新型 TrigonTM 系列的旗舰产品具有极宽的测量范围,从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 传感器,BCG552 可用于压差测量,并在多个应用中用作真空开关。Trigon™ BAG552中真空至超高真空单真空计
对于需要独立热离子规技术的应用,Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。Trigon™ BPG552ATM至超高真空双真空计
对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用,Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了精度、可重复性和使用寿命。 参考价面议IRC081离子基准真空计控制器
离子基准真空计控制器IRC081及其用户界面是离子基准真空计IRG080的标准化的操作和显示界面IRC081与IRG080结合使用,可在10-8毫巴(10-6帕)至10-4毫巴(10-2帕)的范围内进行精确和参考的总压测量。IRC081为IRG080真空计参数设置提供本地控制。 参考价面议