ESMFM-610 皂膜气体流量标准装置，采用高灵敏度红外光电管采样、精密电路控制、微电脑处理、触摸屏操控及显示、多通道测量，显示直观、操控方便、数据准确、测量范围大并可保存多达10W 条以上黑历史测量数据。该仪器广泛用于小气体流量的测量及泄漏率的检测。高配置款内置4 路高精度、高控制稳定性的气体质量流量控制器（MFC），为测量提供高精度、高稳定性的气体输出，使测量更加精度、便捷。

l 多通道测量，可根据不同的测量量程选择适合的测量通道，大大提高气体流量的测量范围及测量精度，测量通道切换简便。

l 采样准确：采用高速、高灵敏度红外传感器采样，高运算能力芯片控制计时，使采样时间准确，从而避免因人工读数造成的误差，大大提高仪器的整机精度

l 实时温度、压力测量及转换：高精度的温度及压力传感器，实时、准确的对待测气体进行温度和压力的测量，将测量的工况流量同步计算转换成需要的标况流量值 。

l 智能处理及控制：自动识别测量通道，各通道独立显示标况流量值，标况温度可选；自动统计处理及记录测量数据（平均值，RSD）

l 内置 4 路MFC气体质量流量控制器，为高精度的气体流量测量控制稳定的气流，使测量更精度、便捷。  

l 大屏幕显示，操作简洁便捷。

主要性能及参数

l 测量流量范围：

通道一：0.05~30 mL/min

通道二：20~1000 mL/min

通道三：600~6000mL/min

l 测量流量精度等级：0.5 级

l 4路质量流量控制器范围及精度：

气路 1：量程50sccm，精度：0.01sccm  

气路 2：量程300sccm，精度：0.1sccm

气路 3：量程1000sccm，精度：0.1sccm

气路 4：量程6000sccm，精度：1sccm

l 环境温度：5~45℃

l 相对湿度：85%

l 供电电源：220VAC

l 适用环境：非防爆场所

应用场景

Ø 气体采样器流量校正

Ø 烟道监测仪器流量校正

Ø 实验室分析仪器载气流量校正

Ø 测试仪器气体流量校正

Ø 气体流量测量计校正

Ø 工件泄漏率检测