产品简介

我公司自主研发的 MFC330 气体质量流量控制器（以下简称 MFC330），
主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。采用优质的核心部件、高
性能的处理器芯片、智能的控制算法及简洁直观的操作界面，使气体流量控
制更加精准、稳定和简便，内置温度和压力传感器，采集气路温度、压力值
外，进一步对气体流量控制进行温压补偿；支持多种通讯协议，可以方便高
效的与电脑、PLC、工业触摸屏、单片机等进行通讯

详细介绍

MFM330气体质量流量计

		产品特性：
		◆无可移动部件
		◆支持多种通讯协议
		◆容易安装及维护
		◆高精度、高稳定性、非常低的零漂
		◆可测多种气体
		◆一体液晶显示和按键操作
		◆内置温度和压力传感器
		◆同时显示气体瞬时流量和累积流量
		应用领域：
技术参数：		——分析仪器	——干刻（RIE/DRIE）
流量规格：	0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM	——生物技术	——气相色谱分析
		——激光焊机	——过程自动化
准确度：	±0.5%F.S.	——真空镀膜	——燃料电池
重复精度：	±0.2%F.S.	产品尺寸：
使用温度：	-20~65℃
使用湿度：	0~98%（⽆凝露）
Max耐压：	3MPa
响应时间：	<1s
供电电压：	15~40VDC
功率：	<1.2W
通讯方式：	RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
气路部件材质：	SUS304、SUS316L
密封件材质：	氟橡胶
气路接头：	快拧、快插、卡套、VCR
外接显示器尺寸：

电气连接：DB9

产品造型：