产品简介

气体流量计的优势：高精度：气体质量流量计的精度可以达到±0.5%FS，远高于其他类型的气体流量计。
稳定性好：在各种环境条件下（如高温、低温、高压、低压等）都能提供准确的测量结果。
使用寿命长：由于其稳定的性能和高质量的材料，气体质量流量计的使用寿命相对较长。
操作和维护简单：降低了使用者的使用难度和成本。

详细介绍

MFM330气体质量流量计

产品概述

		产品特性：
		◆无可移动部件
		◆支持多种通讯协议
		◆容易安装及维护
		◆高精度、高稳定性、非常低的零漂
		◆可测多种气体
		◆一体液晶显示和按键操作
		◆内置温度和压力传感器
		◆同时显示气体瞬时流量和累积流量
		应用领域：
技术参数：		——分析仪器	——干刻（RIE/DRIE）
流量规格：	0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM 0~1、2、5、10、20、30、50SLPM	——生物技术	——气相色谱分析
		——激光焊机	——过程自动化
准确度：	±0.5%F.S.	——真空镀膜	——燃料电池
重复精度：	±0.2%F.S.	产品尺寸：
使用温度：	-20~65℃
使用湿度：	0~98%（⽆凝露）
Max耐压：	3MPa
响应时间：	<1s
供电电压：	15~40VDC
功率：	<1.2W
通讯方式：	RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
气路部件材质：	SUS304、SUS316L
密封件材质：	氟橡胶
气路接头：	快拧、快插、卡套、VCR
外接显示器尺寸：

电气连接：DB9

产品造型：