详细介绍

Turbo-V 1001 Navigator涡轮分子泵

Turbo-V 1001 Navigator 泵提供从 790 至 1050 L/s（视气体而定）的抽速，并且采用 Navigator 产品线中的技术。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强时实现的压差。该泵无油、无污染，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置任意角度安装而不对材料施加应力。典型的平均故障时间 (MTTF) 大于 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。

特性

功耗更低、性能更佳
通过减少发热而节能，并提高可靠性
为风冷而优化的冷却翅片
通过降低工作温度进一步提高可靠性
Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有优化的几何尺寸
功率要求低，前级耐压高及可承受高气载
可拆卸的前级连接器
可连接各种前级泵
冷却方式灵活（风冷或水冷）

性能指示


抽速：	ISO 160： CFF 10 英寸或 ISO 200： ISO 250：	N2：790 L/s N2：950 L/s N2：1050 L/s	He：820 L/s He：870 L/s He：900 L/s	H2：860 L/s H2：900 L/s H2：920 L/s
压缩比：	ISO 160	N2：1 × 10⁹	He：1 × 10⁷	H2：1 × 10⁶
*极限真空（使用推荐的前级泵）**	< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
抽气口法兰	ISO 160 ISO 200	ISO 200-F 螺栓	CFF 10 英寸	ISO 250 ISO 250-F 螺栓
前级管道法兰	KF 40
转速	38,000 rpm
启动时间	小于 4 分钟
推荐的前级泵	机械：Agilent DS 402 旋涡式干泵：Agilent TS300，IDP-15
工作位置	任意
冷却要求	强制通风或水冷
烘烤温度	抽气口法兰温度 120 °C（CF 法兰）抽气口法兰温度 80 ℃（ISO 法兰）
振动参数（位移）	在抽气口法兰处小于 0.01 μm
重量 kg（磅）：	ISO 160 法兰 ISO 200 法兰 CF 10 英寸法兰 ISO 250 法兰 ISO 200-F 和 250-F 螺栓法兰，CF 10 英寸法兰	19 (41.8) 19.4 (43.0) 25.5 (54.2) 21.2 (46.6) 25.5 (54.2)

产品简介

详细介绍

Turbo-V 1001 Navigator涡轮分子泵