详细介绍

Turbo-V 3K-G涡轮分子泵

Turbo-V 3K-G（如 V 2K-G 一样）不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高纯氩气氛围下和温度的环境中。此外，它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 3K-G 涡轮分子泵成为镀膜工业泵解决方案。

特性

市场上仅有的真正“一体化”系统
同类产品中抽速
无油、耐用、可靠
MTTF 超过 200000 小时
转子设计大幅度降低了重量和机械应力
拥有的转子轴配合技术可大大降低转子拉伸应力

技术规格


抽速：	N₂：2200 L/s	He：1900 L/s	Ar：2050 L/s
压缩比：	N₂：> 1 × 10⁷	He：6 × 10³	Ar：1 × 10⁸
*极限真空（使用推荐的前级泵）**	< 1 × 10^-8 mbar
入口法兰	ISO 250F
前级管道法兰	KF 40 NW
额定转速	31800 rpm
使用推荐前级泵，无气体负载的启动时间	< 6 分钟
前级压力	< 0.5 mbar
推荐的最小前级泵	> 60 m³/h（取决于气体流速要求）
工作位置	任意位置
冷却要求	水
重量 ISO (250)	52 kg（114.63 磅）

产品简介

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Turbo-V 3K-G涡轮分子泵