详细介绍

TwisTorr 304 FS涡轮分子泵

Agilent TwisTorr 304 FS 高真空涡轮分子泵采用 Twistorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体（如氢气和氦气）能提供高压缩比，从而实现大抽气量和高前级耐压，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，缩短系统停机时间，并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 304 FS 泵的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。

特性

创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体能提供高压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统占用空间。
高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。

性能指标


抽速：使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160：	N₂：250 L/s N₂：250 L/s	He：255 L/s He：255 L/s	H₂：220 L/s H₂：220 L/s	Ar：250 L/s Ar：250 L/s
全转速气载（使用推荐前级泵）环境温度 (25 °C) 水温 (25 °C，50 L/h)	N₂：170 sccm N₂：170 sccm	Ar：110 sccm Ar：110 sccm
压缩比与前级压力关系：	N₂：> 1 × 10¹¹ N₂：> 10 mbar	He：> 1 × 10⁸ H₂：> 10 mbar	H₂：1.5 × 10⁶ H₂：> 4 mbar	Ar：> 1 × 10¹¹ Ar：> 10 mbar
*极限真空（使用推荐的前级泵）** (5 m³/h)	< 1 × 10^–10 mbar (< 1 × 10^–10 Torr)
抽气口法兰	8 英寸外径 CFF 2.6 英寸外径 CFF	ISO 160 ISO 100
前级管道法兰	KF 16 NW（KF25 — 可选）
转速	60000 rpm（1010 Hz 驱动频率）
启动时间	小于 3 分钟
推荐的前级泵	机械：Agilent DS 102 干泵：Agilent SH 110
工作位置	任意
操作环境温度	+5 °C 至 +35 °C
空气相对湿度	0%–90%（无冷凝）
烘烤温度	抽气口法兰温度 120 °C（CFF 法兰）抽气口法兰温度 80 °C（ISO 法兰）
润滑油	性润滑
冷却要求	风扇冷却（环境温度 5–35 C）水冷（如果环境高于 35 ℃，需强制水冷）
冷却水	最小流速： 50 L/h (0.89 GPM)	温度： +15 ℃ 至 +30 ℃	压力： 3 至 5 bar（45 至 75 psi）
噪声声压级	在 1 米处，< 50 dB(A)
储存温度	-40 °C 至 +70 °C
海拔	3000 m
重量 kg（磅）：	泵 ISO 100： 5.5 (12.3)	泵 CFF 6 英寸： 7.5 kg (16.5)	泵 ISO 160： 5.7 kg (12.6)	泵 CFF 8 英寸： 9.7 kg (20.9)

产品简介

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TwisTorr 304 FS涡轮分子泵