详细介绍

Turbo-V 2K-G涡轮分子泵

Turbo-V 2K-G 不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高氩气氛围下和温度的环境中。此外，它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和充氮气保护阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业泵解决方案。

特性

为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
现有的性能、的仪器
采用集成的方法提高系统效率和正常运行时间的涡轮分子泵
将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
通用电子器件接口并配有操作简单的控制软件模拟 I/O 信号以及 RS232/RS485 接口等标准配置
安捷伦 Profibus 接口

技术规格


抽速：	N₂：1600 L/s
压缩比：	N₂：3 × 10⁵
*极限真空（使用推荐的前级泵）**	< 1 × 10^-8 mbar
入口法兰	ISO 250F
前级管道法兰	KF 40 NW
额定转速	33000 rpm
启动时间	< 7 分钟
推荐的前级泵	> 40 m³/h
工作位置	任意位置
操作环境温度	+5 °C 至 +40 ℃
电源输入电压输入频率	100–240 Vac 50-60 Hz
通讯接口	模拟 I/O RS232/RS485 Profibus	标准标准可选
尺寸	高度重量直径	335 mm（13.18 英寸） 335 mm（13.18 英寸） 35 kg（77 磅）

产品简介

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Turbo-V 2K-G涡轮分子泵