电阻式热蒸发镀膜机-北京中科科美科技股份有限公司手机版

产品简介

该设备为高真空多用途电阻蒸发镀膜机，四对电极可单独或同时蒸发不同的材料。设备为立式顶开盖结构，四对电极可单独或共蒸发，样品Φ300（max），样品台公自转，公转转速2-20rpm可调；流量计控制气体流量，满足离子轰击压力要求。

　　一、应用领域

　　该设备为高真空多用途电阻蒸发镀膜机，四对电极可单独或同时蒸发不同的材料。设备为立式顶开盖结构，四对电极可单独或共蒸发，样品Φ300(max)，样品台公自转，公转转速2-20rpm可调;流量计控制气体流量，满足离子轰击压力要求。

　　二、性能参数

　　1. 镀膜室尺寸：Φ450×500mm钟罩

　　2. 镀膜有效尺寸：Φ300mm

　　3. 离子轰击功率：0.6kW

　　4. 恢复真空抽气时间(min)：<30

　　5. 蒸发源数目：4对，带电动挡板;

　　6. 蒸发源功率：2kW (可选电流、电压控制);

　　7. 偏压、膜厚仪、薄膜规、样品台加热可选;

　　8. 工艺气体：MFC 1路;