技术参数：

1 电子枪能量范围：1 keV ~ 50 keV；

2 电子枪工作距离：100 mm ~ 1000 mm；

3 电子束偏转角度：± 20° @ 50 keV；

4 电子枪束流：1 nA ~ 5 mA；

5 束斑尺寸：15 mm ~ 50 mm；

6 阴极材料：Y₂O₃/LaB₆/BaO；

7 计算机/远程控制能力：通过50针D-sub/RS-232接口；

8 反馈稳定功能：发射电流控制；

9 双栅脉冲宽度调制范围：具体请咨询；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：具体请咨询；(Option)

11 法拉第杯；(Option)

EGF-6115 / EGPS-6115型电子枪产品介绍