PEALD&CVD联合镀膜系统

低压化学气相沉积（LPCVD）

热蒸发镀膜机

有机物蒸发镀膜机

线性磁控溅射镀膜机

电子束蒸发镀膜机

多工位磁控溅射镀膜机

超高真空磁控溅射镀膜机

磁控溅射（共溅射）

OLED CLUSTER镀膜设备

手动镀膜系统

Mini Line 微型器件平台