在线式X射线荧光分析仪
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深圳海创德科技有限公司
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SMX-ILH的热屏蔽技术可使热基板在高达300˚C下实时进行X射线荧光数据采集，减少面板的停留时间，提高加工能力。由于采用一个专门设计的Z轴高度调节功能装置，该系统能够适应大型面板中经常出现的平面性差异（弓起和卷曲）等问题，从而进一步提高了测量精度和结果，尤其是在较高的温度下。
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