直流电源(离子源)
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深圳海创德科技有限公司
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技术参数:
1 加速电源功率:30/300 W;
2 束流电源功率:200/1200 W;
3 中和电源功率:2.5/25/990 W;
4 放电电源功率:900 W;
5 阴极电源功率:1000 W;
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