技术参数：

1 电子枪能量范围：100 eV ~ 10 keV；

2 电子枪工作距离：10 mm ~ 1000 mm；

3 电子束偏转角度：±6° @ 10 keV；

4 电子枪束流：1 nA ~ 100 μA；

5 束斑尺寸：60 μm ~ 25 mm；

6 阴极材料：Y₂O₃/BaO/Ta/LaB₆；

7 计算机／远程控制能力：通过50针D-sub/RS-232接口；

8 反馈稳定功能：发射电流控制；

9 双栅脉冲宽度调制范围：2 µs ~ DC，重复频率可到5 kHz；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：20 ns ~ 100 µs；(Option)

11 集成法拉第杯；(Option)

EGG-3101 / EGPS-3101型电子枪产品介绍