技术参数：

1 电子枪能量范围：100 eV ~ 10 keV；

2 电子枪工作距离：100 mm ~ 1000 mm；

3 电子束偏转角度：±1° @ 10 keV；

4电子枪束流：200 μA ~ 10 mA；

5束斑尺寸：60 μm ~ 25 mm；

6 阴极材料：Y₂O₃；

7 计算机/远程控制能力：通过50针D-sub/RS-232接口；

8 反馈稳定功能：发射电流控制；

9 双栅脉冲宽度调制范围：具体请咨询；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：具体请咨询；(Option)

11 集成法拉第杯；(Option)

EGG-3103 / EGPS-3103型电子枪产品介绍