技术参数：

1 能量范围: 100 eV ~ 5000 eV；

2 电子枪工作距离：25 mm ～ 200 mm；

3 电子束偏转角度：±3.5° @  5 keV；

4 电子枪束流：1nA ~ 10μA；

5 束斑尺寸：1 mm ~ 100 mm；

6 阴极材料：Y₂O₃；

7 计算机／远程控制能力： 通过50针D-sub/RS-232接口；

8 反馈稳定功能：发射电流控制；

9 双栅脉冲宽度调制范围：2 µs ~ DC，重复频率可到5 kHz；(Option)

10 脉冲宽度调制范围：20 ns ~ 100 µs；(Option)

EFG-7/EGPS-2017型电子枪产品介绍