多角度激光椭偏仪(PH-LE型)专门针对晶硅太阳能电池绒面上的减反膜测量，能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用632.8nm波长氦氖激光器，具有的精确度和准确度。
  
  产品特点：
  ■ 可以测量单晶电池片、多晶电池片
  ■ 可以测量抛光片，精确度和准确度
  ■ 可以测量粗糙表面的“绒片”
  ■ 适用于对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的低反射光强进行测量
  ■ 可对太阳能电池粗糙表面减反膜造成的退偏因数（偏振因数）进行测量和评估，提高测量精度
  ■ 配置有高稳定度补偿器，提供最小的漂移值和最小的测量误差
  ■ 配置有高精度的自动光学对准显微镜
  ■ 可进行20°－90°范围内的多角度测量
  
  测量特点：
  ■ 非破环性检测
  ■ 样品准直简单方便
  ■ 测量速度快
  ■ 可变入射角范围宽
  ■ 测量
  ■ 软件分析功能强
  
  技术指标：
  ■ 光源：He-Ne激光器
  ■ 光斑直径：1-2mm
  ■ 入射角范围：20°到90°,5°/步
  ■ 精度：0.002°~ 0.02°
  ■ 膜厚精度：0.01mm，对100nmSiO2on Si
  ■ 折射率精度：0.0005，对100nmSiO2on Si
  ■ 激光光斑：直径1mm
  ■ 激光波长632.8 nm
  

  典型客户：
  美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。