NE-PE10是一款小型真空等离子体表面处理仪，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。装置的运行过程如下：将要被清洗的工件送人真空室并加以固定，启动运行装.置，开始排气使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准.真空度。向真空室内引入等离子清洗用的气体并使其压力保持在100Pao根据清洗的材质不同可分别选用氧气、氢气、氯气1或氮气等气体。在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿并通过辉光放电而发生离子化和产生出等离子体。让在真空室产生的等离子体把被处理工件笼罩住并开始清洗，一般清洗处理持续几十秒到几分钟。清洗完毕后切断高频电压并将气体及气化的污垢排出,同时向真空室内鼓人空气并将气压升至--一个大气压。

NE-PE10等离子体表面处理仪功能特点：

•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置 

•双层托盘设计，可调节托盘间距

•8K 镜面不锈钢腔体，密封性 

•可支持 13.56 MHz 射频发生器，与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)

•直观的触摸屏，过程参数实时监控。 

•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求 

•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体 

•通过联锁门或可移动的板 

•两个标准的电子质量流量控制器的气体控制，有两个额外控制器的选择 ( 4 个)

等离子体表面处理仪产品参数：

产品应用：