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Plasma清洗仪是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是对气体施加足够能量使其离化形成，plasma清洗仪是通过等离子体中离子、处于高速运动状态的电子、光子、活性基团等“活性”成分来处理表面以实现清洁、改性等目的，具体工作原理是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下启辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。
Plasma清洗仪具体使用步骤为，打开电源，将样品放入真空腔中，盖上盖子，打开真空泵，至少等待一段时间以确保将真空腔抽为真空，并且盖子无法抬起，设定清洗功率，选择清洗时间，仪器开始工作；清洗结束后，关闭真空泵，向真空腔中通大气，取出样品，关闭仪器，电源。
