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NE-PE05是一款小型真空等离子体表面处理仪,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打 样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于 1-2 Pa 的真空压强,同时根据客户工 艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体,采用进口高品质等离子发生器,使得通入 的工艺气体产生等离子体,并 确保稳定产生高密度,高能量 的离子。等离子体与材料发生 复杂的物理,化学反应,可以 实现不同的工艺功能,比如清 洗,活化,刻蚀与涂敷等。等 离子态显著的特点是高均匀性 辉光放电,根据不同气体发出 从蓝色到深紫色的色彩可见光。
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•双层托盘设计,可调节托盘间距
•8K 镜面不锈钢腔体,密封性
•可支持 13.56 MHz 射频发生器,与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)
•直观的触摸屏,过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体,包括氩气,氧,氢,氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的电子质量流量控制器的气体控制,有两个额外控制器的选择 ( 4 个)
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配,远程通信控制 | ||
频率 | 40KHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢,级密封 |
腔体容积 | 5L | ||
电极数量 | 1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘 | ||
腔体直径(圆形) | 150(W)×280(D)mm | ||
有效处理范围 | 130(W)*245(D)mm | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器, 0-500ML |
气路数量 | 最小 2 路气体,支持氧气,氩气,氮 气,氢气,四氟化碳等 | ||
4 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 长*宽*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |