MKS真空1559A00451LG1BV流量计深圳市天铉真空技术有限公司

2）MKS 1559A的流量控制器的接线图：

转换电缆的接线定义：

     MKS  1559A                                                 Vogtlin GSC

15针2排公头----------------------------------------------9孔2排的母头

2脚0-5号反馈----------------------------------------4脚0-5号反馈

5脚0V电源接地-------------------------------------------2脚0V电源接地

7脚+15V供电----------------------------------------------3脚+15-24V供电

8脚0-5号设定----------------------------------------5脚0-5号设定

11，12脚信号公共端-------------------------------------1脚信号公共端