BROOKS真空计CMCAP1112BR
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BROOKS真空计CMCAP1112BR

CMCAT1132BRBROOKS真空计CMCAP1112BR

参考价: 订货量:
￥ 33 1台

具体成交价以合同协议为准
2024-07-19 18:20:35
839
属性：
产地:进口；额定电压:24V；加工定制:否；湿度范围:真空% R.H；适用领域:其他；外形尺寸:1mm；温度波动度:2℃；温度范围:1℃；温度均匀度:3%；重量:1kg；
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产品属性
产地
进口
额定电压
24V
加工定制
否
湿度范围
真空% R.H
适用领域
其他
外形尺寸
1mm
温度波动度
2℃
温度范围
1℃
温度均匀度
3%
重量
1kg
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深圳市天铉真空技术有限公司

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产品简介

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深圳

详细介绍

BROOKS真空计CMCAP1112BR/CMCAT1132BR

LAM796-055344-005

BROOKS真空计CMCAP1112BR

特点

  • 流量范围：3 slpm （去离子水蒸汽）

  • 具有超高流量精度的直接水蒸汽测量

  • 能直接连接到厂房去离子水供应系统

  • 在较低温度下可操作（非过热状态）

  • 冲刷和排水的优化设计

  • EtherCAT数字通讯

  • Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面

优势

  • 采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术

  • 适用于各种FAB去离子水供水的压力

  • 接液件耐腐蚀性能增强

  • 确保更清洁的操作

  • 可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口

  • 直接用户界面可增强数据收集或故障排查

应用

  • 硅材料半导体金属刻蚀后段工艺

  • 硅材料半导体金属剥离工艺

  • 在负大气压的环境中超高纯加湿

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