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MKS MFVC-29886流量计传感器
HORIBA STEC液质流量计LF-20M-A-EVD1气体TDMAT 0.1g/min
数字式液体质量流量计/控制器
LF-F 和 LV-F 系列数字式液体质量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体，而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险，从而实现更安全的化学控制。
深圳市天铉真空技术有限公司
HORIBA STEC液质流量计LF-20M-A-EVD1气体TDMAT 0.1g/min
TEC SEC-PV1000模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7440模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7340模拟橡胶密封质量流量计
IKR251英福康冷阴极真空计 INFICON紧凑型冷阴极电离真空计，测量范围2 x 10-9 至10-2mbar。 特点 无灯丝-冷电离 抵抗空气涌入 耐腐蚀 运行状态指示灯 倒置磁控管
| 型号 密封 | IKR251 FPM | |
| 测量范围 | 2 × 10E-9至10E-2 mabr | |
| 精度（N2） 10E-8至10E-2 mbar | ≈±30%读数 | |
| 重复性 | ≈±5%读数 | |
| 输出信号 | +1.8V至+8.5V | |
| 电源电压 功率 | +15至+30Vdc ≤2 W | |
| 电气连接件 | Pfeiff | |
