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mks真空计356004-YG-T
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2L81-050054-14 PCB ASSY,TYB514-1/IO48-LF (2个)
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3D10-100845-11 PLATE,EXHAUST Y-AL SE(2个)
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3D10-100910-12 SHIELD,DEPO Y-AL SE,GROOVE (数量确认中・・・应该是3个)
3D10-100930-13 ELECTRODE BTM,12Y HT-IST LIB (数量确认中・・・应该是3个)
3D10-100936-13 PLATE,DEVERGE BEL IST-LIB IST-LIB(数量确认中・・・应该是3个)
3D10-250476-11 HOLDER,INSULATOR 290-381-9Q (数量确认中・・・应该是3个)
3D10-250542-11 INSULATOR,LOWER (RE) (数量确认中・・・应该是3个)
3D10-350585-11 SPIRAL GAS INLET,UPPER AL2O3 (数量确认中)
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3D10-350587-12 PUSHER PIN(DITCH-PE) (数量确认中・・・应该是6个)
3D80-000906-42 SENSOR,EPD SEPD H VTY-SD-1024 (数量确认中・・・应该是3个)