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详细介绍

Cryo-Plex 16 低温泵

考虑全面的高效设计，使得Cryo-Plex 10低温泵可以实现两倍于8寸低温泵的抽速，是理想的洁净、无油高真空排气方案。

标准应用：半导体、空间环境模拟、真空镀膜以及各种研发领域

配置灵活

支持ANSI、ISO、CF等多种法兰接口

用一台M600氦气压缩机可以同时驱动单台或者两台Cryo-Plex10 低温泵，从而节省空间、电能和维护工作。对于需要多台低温泵的大型真空室，是非常理想的选择。

标准设计

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低温泵、压缩机可以与Helix品牌的CryoTorr系列低温泵、压缩机相互兼容和替换，从而大大方便使升级、维修、交换等服务。

参数

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	3,000
Water	9,000
Hydrogen	5,000
Argon	2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	24
Argon	2,000
Throughput
Argon sccm	1,500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	60 Min
Cryopump measurements
Height	23.9"
Weight LBS	85
Inlet flange	ANSI/ISO/CF

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EDWARDS爱德华分子泵维修Cryo-Plex16低温泵

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Cryo-Plex 16 低温泵