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面议 它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。
| SEC-310 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开； NC: 非通电时：关闭 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-320 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-405 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8 |
| 流量控制范围 | 2?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±0.5％ F.S.(满量程) |
| SEC-410 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 ；NC: 非通电时：关闭 |
| 标准流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-510 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 ；NC: 非通电时：关闭 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-510A | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 ；NC: 非通电时：关闭 |
| 标准流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-520A | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-551 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 ；NC: 非通电时：关闭 |
| 标准流量量程 | 30/50/100 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-552 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、バイトン |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 30/50/100 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-610 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 50/100/150 SLM |
| 流量控制范围 | 10?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-620 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 50/100/150 SLM |
| 流量控制范围 | 10?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-623 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 150/200 SLM (H2:300 SLM) |
| 流量控制范围 | 10?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-400MK2 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-500MK2 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-400MK3 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
| SEC-500MK3 | |
| 气体接触部材质 | SUS-316、氟化橡胶 |
| 阀门类型 | NO: 非通电时：开 |
| 标准流量量程 | 10/20 SLM ：空气.N2.O2.Ar.H2.He |
| 流量控制范围 | 5?100％ F.S.(满量程) |
| 流量精度 | ±2.0％ F.S.(满量程) |
