流量范围：0-30 SLPM 最小流量范围：010SCCM

韩国莱因泰可( LINE TECH )高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，广泛应用于所有工业，气体混合及分析 ，半导体工业，光纤，燃料电池，反应器系统，气体的混合系统。产品设计坚固、耐用，且经济。

优 势：

l 测量质量流量

l 不需要温度、压力补偿

l 紧凑的流量控制系统

l 高精度（±1%F.S）

l 耐高压（90公斤）

l 量程范围广：10SLPM ~ 30SLPM 之间可选/

l 两种输入输出信号：0~5Vdc or 4~20mA 可选

l 两种供电方式：+15Vdc or +24Vdc 可选

l 电气连接： 15 针（D型插头）

l 快速响应时间两种：＜ 1 秒 or ＜2秒 可选

l 高重复性（±0.25%F.S)

l 接头方式多样选择：SWL： 1/4″、1/8″、3/8″

VCR ： 1/4″

规 格：